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上海新微取得减薄机排水槽用晶圆碎屑清理铲专利，实现更加便捷地保养减薄机:排水槽
金融界2025年8月23日消息，国家知识产权局信息显示，上海新微技术研发中心有限公司取得一项名为“一种减薄机排水槽用晶圆碎屑清理铲”的专利，授权公告号CN223250119U，申请日期为2024年09
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金融界2025年8月23日消息，国家知识产权局信息显示，上海新微技术研发中心有限公司取得一项名为“一种减薄机排水槽用晶圆碎屑清理铲”的专利，授权公告号CN223250119U，申请日期为2024年09